文献
J-GLOBAL ID:201702232177909722
整理番号:17A0381584
(100)配向BIFEO_3膜を用いた高効率圧電MEMS振動エネルギーharvsters【Powered by NICT】
High efficiency piezoelectric MEMS vibrational energy harvsters using (100) oriented BIFEO3 films
著者 (5件):
Aramaki M.
(Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University)
,
Izumi K.
(Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University)
,
Yoshimura T.
(Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University)
,
Murakami S.
(Technology Research Institute of Osaka Prefecture)
,
Fujimura N.
(Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
829-832
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)