文献
J-GLOBAL ID:201702232569883688
整理番号:17A0222816
固体核磁気共鳴分光法を用いたシリカ11族原子層蒸着前駆体の表面化学
Surface chemistry of group 11 atomic layer deposition precursors on silica using solid-state nuclear magnetic resonance spectroscopy
著者 (2件):
Pallister Peter J.
(Department of Chemistry, Carleton University, 1125 Colonel By Drive, Ottawa, Ontario K1S 5B6, Canada)
,
Barry Sean T.
(Department of Chemistry, Carleton University, 1125 Colonel By Drive, Ottawa, Ontario K1S 5B6, Canada)
資料名:
Journal of Chemical Physics
(Journal of Chemical Physics)
巻:
146
号:
5
ページ:
052812-052812-10
発行年:
2017年02月07日
JST資料番号:
C0275A
ISSN:
0021-9606
CODEN:
JCPSA6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)