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文献
J-GLOBAL ID：201702232684352122
整理番号：17A0969557
RF PVDマグネトロンスパッタリングにより堆積したMoS_2薄膜に及ぼす湿度と酸素の役割【Powered by NICT】
The role of humidity and oxygen on MoS2 thin films deposited by RF PVD magnetron sputtering
Serpini Elisabetta
(Dipartimento di Scienze Fisiche, Informatiche e Matematiche - Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Campi 213/A, 41125 Modena, Italy)
,
Serpini Elisabetta
(Istituto CNR-NANO S3, Via Campi 213/A, 41125 Modena, Italy)
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Rota Alberto
(Centro Interdipartimentale per la Ricerca Applicata e i Servizi nella Meccanica Avanzata e nella Motoristica Intermech-Mo.Re., Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Vignolese 905/b, 41125 Modena, Italy)
,
Ballestrazzi Antonio
(Dipartimento di Scienze Fisiche, Informatiche e Matematiche - Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Campi 213/A, 41125 Modena, Italy)
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Ballestrazzi Antonio
(Centro Interdipartimentale per la Ricerca Applicata e i Servizi nella Meccanica Avanzata e nella Motoristica Intermech-Mo.Re., Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Vignolese 905/b, 41125 Modena, Italy)
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Marchetto Diego
(Dipartimento di Scienze Fisiche, Informatiche e Matematiche - Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Campi 213/A, 41125 Modena, Italy)
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Marchetto Diego
(Istituto CNR-NANO S3, Via Campi 213/A, 41125 Modena, Italy)
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Marchetto Diego
(Centro Interdipartimentale per la Ricerca Applicata e i Servizi nella Meccanica Avanzata e nella Motoristica Intermech-Mo.Re., Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Vignolese 905/b, 41125 Modena, Italy)
,
Gualtieri Enrico
(Centro Interdipartimentale per la Ricerca Applicata e i Servizi nella Meccanica Avanzata e nella Motoristica Intermech-Mo.Re., Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Vignolese 905/b, 41125 Modena, Italy)
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Valeri Sergio
(Dipartimento di Scienze Fisiche, Informatiche e Matematiche - Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Campi 213/A, 41125 Modena, Italy)
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Valeri Sergio
(Istituto CNR-NANO S3, Via Campi 213/A, 41125 Modena, Italy)
,
Valeri Sergio
(Centro Interdipartimentale per la Ricerca Applicata e i Servizi nella Meccanica Avanzata e nella Motoristica Intermech-Mo.Re., Universita di Modena e Reggio Emilia, Via Vignolese 905/b, 41125 Modena, Italy)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 319 ページ： 345-352 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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