文献
J-GLOBAL ID:201702233448010768
整理番号:17A1057822
生物医学的応用のためのパリレンCパターンの深いプラズマエッチング【Powered by NICT】
Deep plasma etching of Parylene C patterns for biomedical applications
著者 (7件):
Lecomte Aziliz
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, INSA, INP, Toulouse, France)
,
Lecestre Aurelie
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, INSA, INP, Toulouse, France)
,
Bourrier David
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, INSA, INP, Toulouse, France)
,
Blatche Marie-Charline
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, INSA, INP, Toulouse, France)
,
Jalabert Laurent
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, INSA, INP, Toulouse, France)
,
Descamps Emeline
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, INSA, INP, Toulouse, France)
,
Bergaud Christian
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, INSA, INP, Toulouse, France)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
177
ページ:
70-73
発行年:
2017年
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)