文献
J-GLOBAL ID:201702233677870370
整理番号:17A1090435
論理素子における最小エッジプレースメントエラーのパターン形成制御戦略
Patterning Control Strategies for Minimum Edge Placement Error in Logic Devices
著者 (8件):
MULKENS Jan
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
HANNA Michael
(ASML USA, OR, USA)
,
SLACHTER Bram
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
TEL Wim
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
KUBIS Michael
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
MASLOW Mark
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
,
SPENCE Chris
(ASML Silicon Valley, CA, USA)
,
TIMOSHKOV Vadim
(ASML Netherlands B.V., Veldhoven, NLD)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10145
号:
Pt.1
ページ:
1014505.1-1014505.13
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)