文献
J-GLOBAL ID:201702233774494165
整理番号:17A0397178
高分解能神経微小電極を実現するためのフレキシブル基板上の大規模集積用のシリコンナノワイヤアレイのトップダウン製造
Top-down fabrication of silicon-nanowire arrays for large-scale integration on a flexible substrate for achieving high-resolution neural microelectrodes
著者 (2件):
LEE Sangmin
(Kyung Hee Univ., Gyeonggi, KOR)
,
LEE Sangmin
(Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol., Daejeon, KOR)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
23
号:
2
ページ:
491-498
発行年:
2017年02月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)