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文献
J-GLOBAL ID：201702233782903608
整理番号：17A1085042
超臨界二酸化炭素により支援されたガラスの高アスペクト比レーザ穴あけ
High-aspect ratio laser drilling of glass assisted by supercritical carbon dioxide
YOSHIKI Keisuke
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10092 ページ： 100921K.1-100921K.6 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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