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文献
J-GLOBAL ID:201702233802722078   整理番号:17A1406914

マイクロ加工された可変焦点反射鏡を用いた共焦点レーザ変位センサ

Confocal laser displacement sensor using a micro-machined varifocal mirror
著者 (7件):
NAKAZAWA Kenta
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
SASAKI Takashi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
FURUTA Hiromasa
(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN)
KAMIYA Jiro
(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN)
SASAKI Hideki
(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN)
KAMIYA Toshikazu
(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN)
HANE Kazuhiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

資料名:
Applied Optics  (Applied Optics)

巻: 56  号: 24  ページ: 6911-6916  発行年: 2017年08月20日 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 1559-128X  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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