文献
J-GLOBAL ID:201702233802722078
整理番号:17A1406914
マイクロ加工された可変焦点反射鏡を用いた共焦点レーザ変位センサ
Confocal laser displacement sensor using a micro-machined varifocal mirror
著者 (7件):
NAKAZAWA Kenta
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SASAKI Takashi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
FURUTA Hiromasa
(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN)
,
KAMIYA Jiro
(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN)
,
SASAKI Hideki
(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN)
,
KAMIYA Toshikazu
(Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN)
,
HANE Kazuhiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
56
号:
24
ページ:
6911-6916
発行年:
2017年08月20日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)