文献
J-GLOBAL ID:201702234009835126
整理番号:17A0777135
CMOSチップにおける金属ダミー充填の有効な材料特性の解析
Analysis of Effective Material Properties of Metal Dummy Fills in a CMOS Chip
著者 (3件):
HIRANO Takuichi
(Tokyo Institute of Technology)
,
LI Ning
(Chuo University)
,
OKADA Kenichi
(Tokyo Institute of Technology)
資料名:
IEICE Transactions on Communications (Web)
(IEICE Transactions on Communications (Web))
巻:
E100.B
号:
5
ページ:
793-798(J-STAGE)
発行年:
2017年
JST資料番号:
U0467A
ISSN:
1745-1345
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)