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文献
J-GLOBAL ID：201702234026181934
整理番号：17A0462207
電界放出データからの電流制限要素の特性の導出
Extraction of the characteristics of current-limiting elements from field emission measurement data
Bachmann Michael
(Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany)
,
Dams Florian
(Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany)
,
Duesberg Felix
(Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany)
,
Hofmann Martin
(Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany)
,
Pahlke Andreas
(Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany)
,
Langer Christoph
(Faculty of General Sciences and Microsystems Technology, OTH Regensburg, 93053 Regensburg, Germany)
,
Lawrowski Robert
(Faculty of General Sciences and Microsystems Technology, OTH Regensburg, 93053 Regensburg, Germany)
,
Prommesberger Christian
(Faculty of General Sciences and Microsystems Technology, OTH Regensburg, 93053 Regensburg, Germany)
,
Schreiner Rupert
(Faculty of General Sciences and Microsystems Technology, OTH Regensburg, 93053 Regensburg, Germany)
,
Serbun Pavel
(School of Mathematics and Natural Sciences, University of Wuppertal, 42219 Wuppertal, Germany)
,
Luetzenkirchen-Hecht Dirk
(School of Mathematics and Natural Sciences, University of Wuppertal, 42219 Wuppertal, Germany)
,
Mueller Guenter
(School of Mathematics and Natural Sciences, University of Wuppertal, 42219 Wuppertal, Germany)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35 号： 2 ページ： 02C103-02C103-9 発行年： 2017年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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