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文献
J-GLOBAL ID：201702234050713028
整理番号：17A1558645
反応性マグネトロンスパッタリングにより堆積したCrN_x硬質皮膜の化学組成,微細構造及び機械的性質に及ぼすスパッタリングパワーの影響【Powered by NICT】
Effect of sputtering power on the chemical composition, microstructure and mechanical properties of CrNx hard coatings deposited by reactive magnetron sputtering
Qi Zhengbing
(Key Laboratory of Functional Materials and Applications of Fujian Province, School of Materials Science and Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen 361024, China)
,
Wu Zhengtao
(Department of Chemical and Biochemical Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhang Dongfang
(Department of Chemical and Biochemical Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Wei Binbin
(Department of Chemical and Biochemical Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Wang Jinhuo
(Key Laboratory of Functional Materials and Applications of Fujian Province, School of Materials Science and Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen 361024, China)
,
Wang Zhoucheng
(Department of Chemical and Biochemical Engineering, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 145 ページ： 136-143 発行年： 2017年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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