文献
J-GLOBAL ID:201702234183505083
整理番号:17A1811213
走査非線形誘電率顕微鏡による極性反転圧電薄膜の定量的厚み測定
Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy
著者 (6件):
ODAGAWA Hiroyuki
(Kumamoto Coll., Kumamoto, JPN)
,
TERADA Koshiro
(Kumamoto Coll., Kumamoto, JPN)
,
TANAKA Yohei
(Kumamoto Coll., Kumamoto, JPN)
,
NISHIKAWA Hiroaki
(Kumamoto Coll., Kumamoto, JPN)
,
YANAGITANI Takahiko
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
CHO Yasuo
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
56
号:
10S
ページ:
10PF18.1-10PF18.4
発行年:
2017年10月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)