前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702234273158181
整理番号：17A0386057
誘導結合型O2/Arパルスプラズマの時間分解特性の実験的および数値的研究
Experimental and numerical investigations on time-resolved characteristics of pulsed inductively coupled O2/Ar plasmas
Xue Chan
(Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
,
Wen De-Qi
(Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
,
Liu Wei
(Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
,
Zhang Yu-Ru
(Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
,
Gao Fei
(Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
,
Wang You-Nian
(Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 35 号： 2 ページ： 021301-021301-9 発行年： 2017年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。