文献
J-GLOBAL ID:201702234283449366
整理番号:17A1568043
CMOS-MEMS共振圧力センサの特性化【Powered by NICT】
Characterization of CMOS-MEMS Resonant Pressure Sensors
著者 (3件):
Banerji Saoni
(Nanusens, CENT-Parc Tecnolo`gic del Valle`s, Cerdanyola del Valle`s, Spain)
,
Fernandez Daniel
(Nanusens, CENT-Parc Tecnolo`gic del Valle`s, Cerdanyola del Valle`s, Spain)
,
Madrenas Jordi
(Department of Electronic Engineering, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain)
資料名:
IEEE Sensors Journal
(IEEE Sensors Journal)
巻:
17
号:
20
ページ:
6653-6661
発行年:
2017年
JST資料番号:
W1318A
ISSN:
1530-437X
CODEN:
ISJEAZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)