文献
J-GLOBAL ID:201702234377047890
整理番号:17A1090452
改良型オーバレイ制御用のパターン形成ウエハ幾何形状のグループ化
Patterned Wafer Geometry Grouping for Improved Overlay Control
著者 (13件):
LEE Honggoo
(SK Hynix, Gyeonggi-do, KOR)
,
HAN Sangjun
(SK Hynix, Gyeonggi-do, KOR)
,
WOO Jaeson
(SK Hynix, Gyeonggi-do, KOR)
,
PARK Junbeom
(SK Hynix, Gyeonggi-do, KOR)
,
SONG Changrock
(SK Hynix, Gyeonggi-do, KOR)
,
ANIS Fatima
(KLA-Tencor Corp., CA)
,
VUKKADALA Pradeep
(KLA-Tencor Corp., CA)
,
JEON Sanghuck
(KLA-Tencor Korea, Gyeonggi-do, KOR)
,
CHOI DongSub
(KLA-Tencor Korea, Gyeonggi-do, KOR)
,
HUANG Kevin
(KLA-Tencor Corp., CA)
,
HEO Hoyoung
(KLA-Tencor Corp., CA)
,
SMITH Mark D
(KLA-Tencor Corp., CA)
,
ROBINSON John C.
(KLA-Tencor Corp., CA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10145
号:
Pt.1
ページ:
101450O.1-101450O.8
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)