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文献
J-GLOBAL ID：201702234477476219
整理番号：17A0381656
周波数同調のための形状のくし形フィンガを持つエピタキシャルカプセル化4質量共振器【Powered by NICT】
Epitaxially-encapsulated quad mass resonator with shaped comb fingers for frequency tuning
Taheri-Tehrani Parsa
(University of California Davis, Davis, CA, USA)
,
Defoort Martial
(University of California Davis, Davis, CA, USA)
,
Chen Yunhan
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Flader Ian
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Shin Dongsuk D.
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Kenny Thomas W.
(Stanford University, Stanford, CA, USA)
,
Horsley David A.
(University of California Davis, Davis, CA, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 1111-1114 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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