文献
J-GLOBAL ID:201702234615352590
整理番号:17A0795425
高速広範囲先端傾斜ピストンマイクロミラーアレイ【Powered by NICT】
A High-Speed Large-Range Tip-Tilt-Piston Micromirror Array
著者 (4件):
Hopkins Jonathan B.
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California at Los Angeles, Los Angeles, CA, USA)
,
Panas Robert M.
(Lawrence Livermore National Laboratory, Materials Engineering Division, Livermore, CA, USA)
,
Song Yuanping
(Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California at Los Angeles, Los Angeles, CA, USA)
,
White Carolyn D.
(AM Fitzgerald & Associates, LLC, Burlingame, CA, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
26
号:
1
ページ:
196-205
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)