文献
J-GLOBAL ID:201702234908734926
整理番号:17A1021906
各種O_2Ar比のパルスDCマグネトロンスパッタリングにより蒸着した機能的二酸化チタン薄膜の特性の解析【Powered by NICT】
Analysis of the properties of functional titanium dioxide thin films deposited by pulsed DC magnetron sputtering with various O2:Ar ratios
著者 (1件):
Mazur Michal
(Wroclaw University of Science & Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wroclaw, Poland)
資料名:
Optical Materials
(Optical Materials)
巻:
69
ページ:
96-104
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0468A
ISSN:
0925-3467
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)