文献
J-GLOBAL ID:201702235419887446
整理番号:17A1090609
自己整合したブロック技術:更なるスケーリングに向けたステップ
Self-aligned block technology: a step towards further scaling
著者 (24件):
LAZZARINO Frederic
(Imec, Leuven, BEL)
,
MOHANTY Nihar
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
FEURPRIER Yannick
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
HULI Lior
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
LUONG Vinh
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
DEMAND Marc
(Tokyo Electron Europe Ltd., Sussex, GBR)
,
DECOSTER Stefan
(Imec, Leuven, BEL)
,
VEGA GONZALEZ Victor
(Imec, Leuven, BEL)
,
RYCKAERT Julien
(Imec, Leuven, BEL)
,
KIM Ryan Ryoung Han
(Imec, Leuven, BEL)
,
MALLIK Arindam
(Imec, Leuven, BEL)
,
LERAY Philippe
(Imec, Leuven, BEL)
,
WILSON Chris
(Imec, Leuven, BEL)
,
BOEMMELS Juergen
(Imec, Leuven, BEL)
,
KUMAR Kaushik
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
NAFUS Kathleen
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
DE VILLIERS Anton
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
SMITH Jeffrey
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
FONSECA Carlos
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
BANNISTER Julie
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
SCHEER Steven
(TEL Technol. Center, America, LLC, NY, USA)
,
TOKEI Zsolt
(Imec, Leuven, BEL)
,
PIUMI Daniele
(Imec, Leuven, BEL)
,
BARLA Kathy
(Imec, Leuven, BEL)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10149
ページ:
1014908.1-1014908.10
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)