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文献
J-GLOBAL ID：201702235458710311
整理番号：17A0218009
触媒反応支援化学気相堆積法による酸化亜鉛薄膜の堆積
安井寛治
(長岡技科大)
,
田島諒一
(長岡技科大)
,
寺口祐介
(長岡技科大)
,
里本宗一
(長岡技科大)
,
加藤孝弘
(長岡技科大)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C(Web)
巻： J100-C 号： 1 ページ： 8-15 (WEB ONLY) 発行年： 2017年01月01日
JST資料番号： U0472A ISSN： 1881-0217 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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