文献
J-GLOBAL ID:201702235469081016
整理番号:17A0699161
低温原子層堆積した酸化亜鉛膜の厚さに依存した成長【Powered by NICT】
Thickness dependent growth of low temperature atomic layer deposited zinc oxide films
著者 (6件):
Montiel-Gonzalez Z.
(Instituto de Energias Renovables, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Temixco, Morelos 62580, Mexico)
,
Montiel-Gonzalez Z.
(CONACYT-Centro de Investigacion en Materiales Avanzados S.C., Unidad Monterrey, PIIT, Apodaca, Nuevo Leon 66628, Mexico)
,
Castelo-Gonzalez O.A.
(Instituto de Energias Renovables, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Temixco, Morelos 62580, Mexico)
,
Aguilar-Gama M.T.
(Instituto de Energias Renovables, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Temixco, Morelos 62580, Mexico)
,
Ramirez-Morales E.
(Instituto de Energias Renovables, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Temixco, Morelos 62580, Mexico)
,
Hu H.
(Instituto de Energias Renovables, Universidad Nacional Autonoma de Mexico, Temixco, Morelos 62580, Mexico)
資料名:
Applied Thermal Engineering
(Applied Thermal Engineering)
巻:
114
ページ:
1145-1151
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0667B
ISSN:
1359-4311
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)