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文献
J-GLOBAL ID：201702235738820010
整理番号：17A1501769
新規HiPIMS法による蒸着したタングステン薄膜の増強された特性【Powered by NICT】
Enhanced properties of tungsten thin films deposited with a novel HiPIMS approach
Velicu Ioana-Laura
(Faculty of Physics, Alexandru Ioan Cuza University, Iasi 700506, Romania)
,
Tiron Vasile
(Faculty of Physics, Alexandru Ioan Cuza University, Iasi 700506, Romania)
,
Porosnicu Corneliu
(National Institute for Laser, Radiation and Plasma Physics, Magurele 077125, Romania)
,
Burducea Ion
(Horia Hulubei National Institute of Physics and Nuclear Engineering, Magurele 077125, Romania)
,
Lupu Nicoleta
(National Institute of Research and Development for Technical Physics, Iasi 700050, Romania)
,
Stoian George
(National Institute of Research and Development for Technical Physics, Iasi 700050, Romania)
,
Popa Gheorghe
(Faculty of Physics, Alexandru Ioan Cuza University, Iasi 700506, Romania)
,
Munteanu Daniel
(Department of Materials Science and Engineering, Transilvania University, Brasov 500036, Romania)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 424 号： P3 ページ： 397-406 発行年： 2017年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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