文献
J-GLOBAL ID:201702236010443849
整理番号:17A0211056
グラフェン表面のH2-とCl2-系の誘導結合プラズマを利用するクリーニングのXPSによる研究
XPS investigations of graphene surface cleaning using H2- and Cl2-based inductively coupled plasma
著者 (15件):
Ferrah D.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Ferrah D.
(CEA, LETI, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Ferrah D.
(LTM-CNRS, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Renault O.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Renault O.
(CEA, LETI, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Petit-Etienne C.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Petit-Etienne C.
(LTM-CNRS, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Okuno H.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Okuno H.
(INAC-CNRS, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Berne C.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Berne C.
(Institut Neel, CNRS-UJF, BP 166, 38042, Grenoble cedex 9, France)
,
Bouchiat V.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Bouchiat V.
(Institut Neel, CNRS-UJF, BP 166, 38042, Grenoble cedex 9, France)
,
Cunge G.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Cunge G.
(LTM-CNRS, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
48
号:
7
ページ:
451-455
発行年:
2016年07月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)