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文献
J-GLOBAL ID：201702236010443849
整理番号：17A0211056
グラフェン表面のH2-とCl2-系の誘導結合プラズマを利用するクリーニングのXPSによる研究
XPS investigations of graphene surface cleaning using H2- and Cl2-based inductively coupled plasma
Ferrah D.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Ferrah D.
(CEA, LETI, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Ferrah D.
(LTM-CNRS, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Renault O.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Renault O.
(CEA, LETI, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Petit-Etienne C.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Petit-Etienne C.
(LTM-CNRS, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Okuno H.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Okuno H.
(INAC-CNRS, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
,
Berne C.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Berne C.
(Institut Neel, CNRS-UJF, BP 166, 38042, Grenoble cedex 9, France)
,
Bouchiat V.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Bouchiat V.
(Institut Neel, CNRS-UJF, BP 166, 38042, Grenoble cedex 9, France)
,
Cunge G.
(Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
,
Cunge G.
(LTM-CNRS, Minatec Campus, F-38054, Grenoble, France)
資料名：
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻： 48 号： 7 ページ： 451-455 発行年： 2016年07月
JST資料番号： E0709A ISSN： 0142-2421 CODEN： SIANDQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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