文献
J-GLOBAL ID:201702236033963422
整理番号:17A1186014
熱広がり抵抗解析と組み合わせた走査熱顕微鏡による薄膜の熱伝導率の測定【Powered by NICT】
Measuring thermal conductivity of thin films by Scanning Thermal Microscopy combined with thermal spreading resistance analysis
著者 (4件):
Juszczyk J.
(Institute of Physics, Silesian University of Technology, Konarskiego 22B, 44-100 Gliwice, Poland)
,
Kazmierczak-Balata A.
(Institute of Physics, Silesian University of Technology, Konarskiego 22B, 44-100 Gliwice, Poland)
,
Firek P.
(Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Koszykowa 75, 00-662 Warszawa, Poland)
,
Bodzenta J.
(Institute of Physics, Silesian University of Technology, Konarskiego 22B, 44-100 Gliwice, Poland)
資料名:
Ultramicroscopy
(Ultramicroscopy)
巻:
175
ページ:
81-86
発行年:
2017年
JST資料番号:
W0972A
ISSN:
0304-3991
CODEN:
ULTRD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)