前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702236040187016
整理番号：17A0318083
LOR犠牲層を用いたモノリシックSU-8構造の相互接続されたマルチレベルチャネルの作製【Powered by NICT】
Fabrication of interconnected multilevel channels in a monolithic SU-8 structure using a LOR sacrificial layer
Chiriaco Maria Serena
(CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy)
,
Bianco Monica
(CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy)
,
Amato Francesco
(CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy)
,
Primiceri Elisabetta
(CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy)
,
Ferrara Francesco
(ST Microelectronics, via per Arnesano, 73100 Lecce, Italy)
,
Arima Valentina
(CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy)
,
Maruccio Giuseppe
(CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy)
,
Maruccio Giuseppe
(Dipartimento Matematica e Fisica E. De Giorgi, University of Salento, Lecce, Italy)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 164 ページ： 30-35 発行年： 2016年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。