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文献
J-GLOBAL ID：201702236167980204
整理番号：17A1456422
触媒活性白金被覆原子間力顕微鏡プローブを用いた水中でのシリコンの局所エッチング【Powered by NICT】
Localized etching of silicon in water using a catalytically active platinum-coated atomic force microscopy probe
Yamamoto Kota
(Department of Mechanical Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan)
,
Sato Keisuke
(Department of Mechanical Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan)
,
Sasano Junji
(Department of Mechanical Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan)
,
Nagai Moeto
(Department of Mechanical Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan)
,
Shibata Takayuki
(Department of Mechanical Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 50 ページ： 344-353 発行年： 2017年
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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