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文献
J-GLOBAL ID：201702236170362652
整理番号：17A0399733
高出力条件での窒素/メタン/水素プラズマを用いて成長させたナノ結晶ダイヤモンド膜中の結合水素欠陥の研究【Powered by NICT】
Investigation of bonded hydrogen defects in nanocrystalline diamond films grown with nitrogen/methane/hydrogen plasma at high power conditions
Tang C.J.
(Department of Physics, Jiangsu Key Laboratory for Advanced Functional Materials, Changshu Institute of Technology, Changshu 215500, PR China)
,
Tang C.J.
(Department of Physics, I3N (Institute for Nanostructures, Nanomodelling and Nanofabrication), University of Aveiro, Campus Universitario de Santiago, 3810-193 Aveiro, Portugal)
,
Hou Haihong
(Department of Physics, Jiangsu Key Laboratory for Advanced Functional Materials, Changshu Institute of Technology, Changshu 215500, PR China)
,
Fernandes A.J.S.
(Department of Physics, I3N (Institute for Nanostructures, Nanomodelling and Nanofabrication), University of Aveiro, Campus Universitario de Santiago, 3810-193 Aveiro, Portugal)
,
Jiang X.F.
(Department of Physics, Jiangsu Key Laboratory for Advanced Functional Materials, Changshu Institute of Technology, Changshu 215500, PR China)
,
Pinto J.L.
(Department of Physics, I3N (Institute for Nanostructures, Nanomodelling and Nanofabrication), University of Aveiro, Campus Universitario de Santiago, 3810-193 Aveiro, Portugal)
,
Ye H.
(School of Engineering and Applied Science, Aston University, Aston Triangle, Birmingham B4 7ET, UK)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 460 ページ： 16-22 発行年： 2017年
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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