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文献
J-GLOBAL ID：201702236194134112
整理番号：17A1138263
THzエリプソメトリーによるInN薄膜の電気特性評価
森野健太
(立命館大 理工)
,
藤井高志
(立命館大 理工)
,
藤井高志
(日邦プレシジョン)
,
毛利真一郎
(立命館大 理工)
,
荒木努
(立命館大 理工)
,
名西やす之
(立命館大 理工)
,
長島健
(摂南大)
,
岩本敏志
(日邦プレシジョン)
,
佐藤幸徳
(日邦プレシジョン)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th ページ： ROMBUNNO.5a-A301-6 発行年： 2017年08月25日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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