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文献
J-GLOBAL ID：201702236380548573
整理番号：17A0381492
Nano-DMAと分子動力学を用いたMEMSのためのパリレン薄膜の粘弾性の比較研究【Powered by NICT】
Comparative study of the viscoelasticity of parylene thin films for MEMS using Nano-DMA and Molecular Dynamics
Sui Wenshu
(The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR)
,
Duvieusart Maxime S.
(The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR)
,
Zhao Junhua
(Jiangnan University, Wuxi, China)
,
Tai Yu-Chong
(California Institute of Technology, Pasadena, CA 91125, USA)
,
Lee Yi-Kuen
(The Hong Kong University of Science and Technology, Hong Kong SAR)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 468-471 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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