文献
J-GLOBAL ID:201702236486432649
整理番号:17A1482934
粘弾性基板上に蒸着した金属膜スパッタにおけるしわパターン【Powered by NICT】
Wrinkling patterns in metal films sputter deposited on viscoelastic substrates
著者 (5件):
Yu Sen-Jiang
(Department of Physics, China Jiliang University, Hangzhou 310018, PR China)
,
Du Yao-Peng
(Department of Physics, China Jiliang University, Hangzhou 310018, PR China)
,
Sun Ya-Dong
(Department of Physics, China Jiliang University, Hangzhou 310018, PR China)
,
Ye Quan-Lin
(Hangzhou Key Laboratory of Quantum Matter, Department of Physics, Hangzhou Normal University, Hangzhou 310036, PR China)
,
Zhou Hong
(Department of Physics, China Jiliang University, Hangzhou 310018, PR China)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
638
ページ:
230-235
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)