文献
J-GLOBAL ID:201702236783471857
整理番号:17A1646248
平面垂直キャパシタに向けて:強誘電性V FeFET統合に向けた一歩【Powered by NICT】
From planar to vertical capacitors: A step towards ferroelectric V-FeFET integration
著者 (8件):
Florent Karine
(Department of Electrical Engineering, KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Lavizzari Simone
(imec, Leuven, Belgium)
,
Di Piazza Luca
(imec, Leuven, Belgium)
,
Popovici Mihaela
(imec, Leuven, Belgium)
,
Potoms Goedele
(imec, Leuven, Belgium)
,
Raymaekers Tom
(imec, Leuven, Belgium)
,
Groeseneken Guido
(Department of Electrical Engineering, KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Van Houdt Jan
(Department of Electrical Engineering, KU Leuven, Leuven, Belgium)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ESSDERC
ページ:
164-167
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)