前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702236869589390
整理番号：17A1036116
3Dデバイスにおけるゲートスタック統合と実証における3D NAND可能の深さ分析【Powered by NICT】
In Depth Analysis of 3D NAND Enablers in Gate Stack Integration and Demonstration in 3D Devices
Tan Chi Lim
,
Lavizzari Simone
,
Blomme Pieter
,
Breuil Laurent
,
Vecchio Guglielma
,
Sebaai Farid
,
Paraschiv Vasile
,
Tao Zheng
,
Schepers Bart
,
Nyns Laura
,
Peter Antony
,
Dekkers Harold
,
Ong Patrick
,
Tsvetanova Diana
,
Devriendt Katia
,
Teugels Lieve
,
Heylen Nancy
,
Raymaekers Tom
,
Jossart Nico
,
Mennella Pasquale
,
Delhougne Romain
,
Vadakupudhu Palayam Senthil
,
Arreghini Antonio
,
Van den bosch Geert
,
Furnemont Arnaud
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： IMW ページ： 1-4 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。