文献
J-GLOBAL ID:201702236962613775
整理番号:17A1056791
精密集積コンデンサの作製【Powered by NICT】
Fabrication of precision integrated capacitors
著者 (2件):
Jiang Jisu
(Chemical and Biomolecular Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA 30332-0100, USA)
,
Kohl Paul A.
(Chemical and Biomolecular Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA 30332-0100, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
634
ページ:
15-23
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)