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文献
J-GLOBAL ID：201702237119695442
整理番号：17A1088134
圧電微細加工超音波トランスデューサおよびマイクロポンプ: 設計から光学マイクロ流体の応用まで
Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers and Micropumps: From Design to Optomicrofluidic Applications
KHAZAALEH Shadi
(Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE)
,
SAEED Numan
(Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE)
,
TAHA Inas
(Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE)
,
MADZIK Mateusz T.
(Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE)
,
VIEGAS Jaime
(Masdar Inst. Sci. & Technol., Abu Dhabi, ARE)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10061 ページ： 100610S.1-100610S.7 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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