文献
J-GLOBAL ID:201702237277337094
整理番号:17A0852557
フォトニック要素の非破壊ウエハスケール特性化のための光学的プローブ【Powered by NICT】
Optical Probe for Nondestructive Wafer-Scale Characterization of Photonic Elements
著者 (2件):
Michels T.
(Center for Nanoscale Science and Technology, National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD, USA)
,
Aksyuk V.
(Center for Nanoscale Science and Technology, National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD, USA)
資料名:
IEEE Photonics Technology Letters
(IEEE Photonics Technology Letters)
巻:
29
号:
8
ページ:
643-646
発行年:
2017年
JST資料番号:
T0721A
ISSN:
1041-1135
CODEN:
IPTLEL
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)