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文献
J-GLOBAL ID：201702237439832330
整理番号：17A0402506
先進相互接続のための多層グラフェンの評価【Powered by NICT】
Evaluation of multilayer graphene for advanced interconnects
Politou Maria
(KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Politou Maria
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
Wu Xiangyu
(KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Wu Xiangyu
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
Asselberghs Inge
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
Contino Antonino
(KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Contino Antonino
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
Soree Bart
(KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Soree Bart
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
Radu Iuliana
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
Huyghebaert Cedric
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
Tokei Zsolt
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
De Gendt Stefan
(KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
De Gendt Stefan
(IMEC, Leuven, Belgium)
,
Heyns Marc
(KU Leuven, Leuven, Belgium)
,
Heyns Marc
(IMEC, Leuven, Belgium)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 167 ページ： 1-5 発行年： 2017年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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