文献
J-GLOBAL ID:201702237609724081
整理番号:17A1415021
CMOS-MEMS共振圧力センサ:比較分析による最適化と検証
CMOS-MEMS resonant pressure sensors: optimization and validation through comparative analysis
著者 (6件):
BANERJI Saoni
(Universitat Politecnica de Catalunya, Barcelona, ESP)
,
MICHALIK Piotr
(Universitat Politecnica de Catalunya, Barcelona, ESP)
,
FERNANDEZ Daniel
(CENT-Parc Tecnologic del Valles, Cerdanyola Del Valles, ESP)
,
MADRENAS Jordi
(Universitat Politecnica de Catalunya, Barcelona, ESP)
,
MOLA Albert
(InContext AB, Stockholm, SWE)
,
MONTANYA Josep
(CENT-Parc Tecnologic del Valles, Cerdanyola Del Valles, ESP)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
23
号:
9
ページ:
3909-3925
発行年:
2017年09月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)