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文献
J-GLOBAL ID：201702237923497527
整理番号：17A0402528
機械学習に基づく高速と製造に優しい光近接効果補正【Powered by NICT】
A fast and manufacture-friendly optical proximity correction based on machine learning
Ma Xu
(Key Laboratory of Photoelectronic Imaging Technology and System of Ministry of Education of China, School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, PR China)
,
Jiang Shangliang
(Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California at Berkeley, CA 94706, U.S.A)
,
Wang Jie
(Key Laboratory of Photoelectronic Imaging Technology and System of Ministry of Education of China, School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, PR China)
,
Wu Bingliang
(Key Laboratory of Photoelectronic Imaging Technology and System of Ministry of Education of China, School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, PR China)
,
Song Zhiyang
(Key Laboratory of Photoelectronic Imaging Technology and System of Ministry of Education of China, School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, PR China)
,
Li Yanqiu
(Key Laboratory of Photoelectronic Imaging Technology and System of Ministry of Education of China, School of Optoelectronics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, PR China)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 168 ページ： 15-26 発行年： 2017年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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