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文献
J-GLOBAL ID：201702238059079972
整理番号：17A1028807
圧電アクチュエーションおよびセンシングを用いた圧電可変曲げモード共振器の熱および【Powered by NICT】
Thermal- and Piezo-Tunable Flexural-Mode Resonator With Piezoelectric Actuation and Sensing
Svilicic Boris
(Scottish Microelectronics Centre, School of Engineering, Institute for Integrated Micro and Nano Systems, University of Edinburgh, Edinburgh, U.K.)
,
Wood Graham S.
(Scottish Microelectronics Centre, School of Engineering, Institute for Integrated Micro and Nano Systems, University of Edinburgh, Edinburgh, U.K.)
,
Mastropaolo Enrico
(Scottish Microelectronics Centre, School of Engineering, Institute for Integrated Micro and Nano Systems, University of Edinburgh, Edinburgh, U.K.)
,
Cheung Rebecca
(Scottish Microelectronics Centre, School of Engineering, Institute for Integrated Micro and Nano Systems, University of Edinburgh, Edinburgh, U.K.)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 26 号： 3 ページ： 609-615 発行年： 2017年
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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