文献
J-GLOBAL ID:201702238816164365
整理番号:17A1003323
正確なエアギャップ形成を有するカンチレバーの製作のための改良された移動プロセス
Improved transfer process for fabrication of cantilever with precise air-gap formation
著者 (4件):
KANAZAWA Shusuke
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KUSAKA Yasuyuki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
YAMAMOTO Noritaka
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
USHIJIMA Hirobumi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
56
号:
5S2
ページ:
05EB01.1-05EB01.5
発行年:
2017年05月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)