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文献
J-GLOBAL ID：201702239038819906
整理番号：17A1058055
成形光ファイバチップを用いたフォトニックジェットによる半導体と金属のエッチング【Powered by NICT】
Etching of semiconductors and metals by the photonic jet with shaped optical fiber tips
Pierron Robin
(ICube Laboratory, CNRS, University of Strasbourg, France)
,
Lecler Sylvain
(ICube Laboratory, CNRS, University of Strasbourg, France)
,
Zelgowski Julien
(ICube Laboratory, CNRS, University of Strasbourg, France)
,
Pfeiffer Pierre
(ICube Laboratory, CNRS, University of Strasbourg, France)
,
Mermet Frederic
(IREPA LASER - Carnot MICA Institute, Pole API, 67412 Illkirch, France)
,
Fontaine Joeel
(ICube Laboratory, CNRS, University of Strasbourg, France)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 418 号： PB ページ： 452-455 発行年： 2017年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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