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文献
J-GLOBAL ID：201702239039560906
整理番号：17A1033128
位相シフト光パルス干渉法によるMEMS振動センサの開発【Powered by NICT】
Development of MEMS vibrating sensor with phase-shifted optical pulse interferometry
Ohe Yusaku
(Tokyo Institute of Technology)
,
Kimura Hitoshi
(Tokyo Institute of Technology)
,
Inou Norio
(Tokyo Institute of Technology)
,
Hirayama Yoshiharu
(Hakusan Corporation)
,
Yoshida Minoru
(Hakusan Corporation)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： EDTM ページ： 145-147 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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