文献
J-GLOBAL ID:201702239091538235
整理番号:17A0369326
イオン注入による平面マイクロフルイディクスのための横方向多孔質シリコン膜の作製【Powered by NICT】
Fabrication of lateral porous silicon membranes for planar microfluidics by means of ion implantation
著者 (2件):
He Yingning
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, Toulouse, France)
,
Leiechle Thierry
(LAAS-CNRS, Universite de Toulouse, CNRS, Toulouse, France)
資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻:
239
ページ:
628-634
発行年:
2017年
JST資料番号:
T0967A
ISSN:
0925-4005
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)