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文献
J-GLOBAL ID：201702239196211693
整理番号：17A1090584
マスク無しビアを可能にする着色技術によるステッチオーバーラップ
Stitch overlap via coloring technique enables maskless via
CIVAY D.
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
LAFFOSSE E.
(GLOBALFOUNDRIES, CA, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10148 ページ： 101480R.1-101480R.6 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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