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文献
J-GLOBAL ID：201702239346117439
整理番号：17A0943183
パターン形成溶液へのDSAの統合のためのEDAツールの概観と開発【Powered by NICT】
Overview and development of EDA tools for integration of DSA into patterning solutions
Torres J. Andres
(Mentor Graphics Corporation, 8005 S.W. Boeckman Road, Wilsonville, OR 97070, United States of America)
,
Fenger Germain
(Mentor Graphics Corporation, 8005 S.W. Boeckman Road, Wilsonville, OR 97070, United States of America)
,
Khaira Daman
(Mentor Graphics Corporation, 8005 S.W. Boeckman Road, Wilsonville, OR 97070, United States of America)
,
Yuansheng Ma
(Mentor Graphics Corporation, 46885 Bayside Parkway, Fremont, CA 94538, United States of America)
,
Granik Yuri
(Mentor Graphics Corporation, 46885 Bayside Parkway, Fremont, CA 94538, United States of America)
,
Kapral Chris
(Mentor Graphics Corporation, 5000 Plaza On The Lake Suite 310, Austin, TX 78759, United States of America)
,
Mitra Joydeep
(Mentor Graphics Corporation, 5000 Plaza On The Lake Suite 310, Austin, TX 78759, United States of America)
,
Krasnova Polina
(Mentor Graphics Corporation, Business Center Concord, 10 Shabolovka St., Moscow, Russia 119049)
,
Ait-Ferhat Dehia
(Mentor Graphics Corporation, 110 Rue Blaise Pascal, 38330 Montbonnot-Saint-Martin, France)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： ISQED ページ： 99-103 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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