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文献
J-GLOBAL ID：201702239510605840
整理番号：17A0083658
光パターン形成可能なTiO2ゾル-ゲル過程およびコロイダルフォトリソグラフィーを用いた官能化および表面微細構造形成に対するコスト効果的な大面積加工
Cost-effective and large-area process for the functionalization and surface microstructuring using photo-patternable TiO2 sol-gel process and colloidal photolithography
BERTHOD L.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
BERTHOD L.
,
SHAVDINA O.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
SHAVDINA O.
(LITEN, CEA, Grenoble, FRA)
,
VOCANSON F.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
LANGLET M.
,
DELLEA O.
(LITEN, CEA, Grenoble, FRA)
,
VEILLAS C.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
REYNAUD S.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
VERRIER I.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
JOURLIN Y.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9888 ページ： 988805.1-988805.8 発行年： 2016年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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