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文献
J-GLOBAL ID：201702239650104126
整理番号：17A0233566
トレンチ構造を有する柔軟な表示装置におけるポリイミド膜のドライエッチング特性の検討
A Study of Dry Etching Characteristics of Polyimide Films in Flexible Displays with Trench Structures
LEE Young Jun
(Korea Aerospace Univ., Goyang-si, KOR)
,
OH Seon-Geun
(Korea Aerospace Univ., Goyang-si, KOR)
,
KIM Byeong Jun
(Korea Aerospace Univ., Goyang-si, KOR)
,
KIM Hong-Sik
(Korea Aerospace Univ., Goyang-si, KOR)
,
JEON Jae-Hong
(Korea Aerospace Univ., Goyang-si, KOR)
,
SEO Jong-Hyun
(Korea Aerospace Univ., Goyang-si, KOR)
,
CHOE HeeHwan
(Korea Aerospace Univ., Goyang-si, KOR)
資料名：
Science of Advanced Materials
(Science of Advanced Materials)
巻： 8 号： 4 ページ： 851-853 発行年： 2016年04月
JST資料番号： W2374A ISSN： 1947-2935 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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