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文献
J-GLOBAL ID：201702239876462769
整理番号：17A1090376
プログラムしたマスクブランク欠陥の印刷適性とアクチニックAIMS検査
Printability and Actinic AIMS Review of Programmed Mask Blank Defects
VERDUIJN Erik
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
MANGAT Pawitter
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
WOOD Obert
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
RANKIN Jed
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
CHEN Yulu
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
GOODWIN Francis
(GLOBALFOUNDRIES, NY, USA)
,
CAPELLI Renzo
(Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen, DEU)
,
PERLITZ Sascha
(Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen, DEU)
,
HELLWEG Dirk
(Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen, DEU)
,
BONAM Ravi
(IBM Res., NY, USA)
,
MATHAM Shravan
(IBM Res., NY, USA)
,
FELIX Nelson
(IBM Res., NY, USA)
,
CORLISS Daniel
(IBM Res., NY, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10143 ページ： 101430K.1-101430K.13 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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