文献
J-GLOBAL ID:201702240287190933
整理番号:17A0362475
3D破壊解析のためのGHz走査型音響顕微鏡の応力測定能力【Powered by NICT】
Investigating stress measurement capabilities of GHz Scanning Acoustic Microscopy for 3D failure analysis
著者 (7件):
Khaled A.
(MTM Department, KU Leuven University, 3000 Leuven, Belgium)
,
Khaled A.
(imec, Kapeldreef 75, 3000 Leuven, Belgium)
,
Brand S.
(Fraunhofer Institute, Walter-Huelse-Strasse 1, 06120 Halle, Germany)
,
Kogel M.
(Fraunhofer Institute, Walter-Huelse-Strasse 1, 06120 Halle, Germany)
,
Appenroth T.
(Fraunhofer Institute, Walter-Huelse-Strasse 1, 06120 Halle, Germany)
,
De Wolf I.
(MTM Department, KU Leuven University, 3000 Leuven, Belgium)
,
De Wolf I.
(imec, Kapeldreef 75, 3000 Leuven, Belgium)
資料名:
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻:
64
ページ:
336-340
発行年:
2016年
JST資料番号:
C0530A
ISSN:
0026-2714
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)