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文献
J-GLOBAL ID：201702240575264844
整理番号：17A0222814
原子層堆積前駆体の表面化学への基板の性質の影響
Effect of the nature of the substrate on the surface chemistry of atomic layer deposition precursors
Yao Yunxi
(Department of Chemistry, University of California, Riverside, California 92521, USA)
,
Coyle Jason P.
(Department of Chemistry, Carleton University, Ottawa, Ontario K1S 5B6, Canada)
,
Barry Sean T.
(Department of Chemistry, Carleton University, Ottawa, Ontario K1S 5B6, Canada)
,
Zaera Francisco
(Department of Chemistry, University of California, Riverside, California 92521, USA)
資料名：
Journal of Chemical Physics
(Journal of Chemical Physics)
巻： 146 号： 5 ページ： 052806-052806-10 発行年： 2017年02月07日
JST資料番号： C0275A ISSN： 0021-9606 CODEN： JCPSA6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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